輪廓式測量投影儀的系統采用模塊化設計,具備高度彈性之組合配置,可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應用:搭載電動鼻輪,zui多可同時掛載5種物鏡,使用時直接切換,省去手動更換的麻煩。同時配備電動調整移動平臺,可對樣品作自動調平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動量測之應用,樣品皆不需前處理即可進行非破壞、快速的表面形貌量測與分析,使用于業界研發生產、制程改善以及學術研究等單位。
輪廓式測量投影儀之高度分辨率可達0.1 nm,而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達到100mm,且水平軸向亦可達次微米解析,除此輪廓式測量投影儀可透過計算機控制移動平臺進行水平掃瞄,使其水平軸向量測范圍可達到150 × 150mm,并可依據客戶需求修改平臺尺寸。輪廓式測量投影儀搭配快速的校正程序以及演算原理,系統校正結果可以追朔至NIST標準,并結合數種創新且強固可靠的算法,因此本系列產品可同時擁有高度以及大范圍量測的特質。
傳統的機械零件由于受加工設備的限制,對精度包括平面度,粗糙度的要求常規下停留在微米量級。但隨著技術發展,人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進,設備加工精度的提高帶動檢測技術的發展,傳統的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。